極紫外線用（EUV）フォトレジストを製造する日本企業TOKが国内で生産を開始したことが分かった。EUV用フォトレジストは、日本政府が昨年7月から輸出を規制した品目のいずれかである。1日、産業通商資源部によると、TOK側国内のある媒体にTOKグループティーオーケー先端材料株式会社（韓国法人名）でEUV用フォトレジストを製造しており、製品をタイムリーに提供することができる内容の書面を送った。TOK韓国法人で生産したEUV用フォトレジストは、サムスン電子半導体工程に適用テストが行われていると伝えられた。
EUV用フォトレジストは、サムスン電子が非メモリラインで使用される材料である。SKハイニックスの場合は、Dラムなどメモリー半導体事業が主力である点を勘案なら、サムスン電子が日本企業が韓国現地で生産したEUVフォトレジストに関心を示すと思われる。
https://www.sedaily.com/NewsVIew/1Z54X3QT14
（韓国語）
続きを読む
